Sistema de revestimento por pulverização por ultra-som de vórtice de alta temperatura de 60 kHz

Sistema de Revestimento por Pulverização Ultrassônica de Vórtice de Alta Temperatura de 60kHz

Descrição: 

Nosso sistema de revestimento por pulverização ultrassônica de vórtice de alta temperatura de 60kHz integra um bico atomizador ultrassônico de vórtice de 60 kHz com estrutura de resfriamento embutida. O transdutor piezoelétrico gera vibração de alta frequência para transformar precursores líquidos em microgotículas finas. O gás de conformação de vórtice de baixa velocidade forma um campo de pulverização cônico estável sem impacto forte nos substratos.

A montagem de resfriamento do bico isola o calor do estágio de aquecimento de alta temperatura, que pode atingir até 500~600°C. Este projeto permite a secagem in-situ e a decomposição térmica de soluções precursoras diretamente na superfície do substrato.

Em comparação com bicos de pulverização ultrassônica focados convencionais, o tipo vórtice oferece uma largura de pulverização efetiva mais ampla e uniformidade de revestimento superior. A névoa suave reduz significativamente o overspray e melhora a utilização do material acima de 90%, economizando materiais precursores caros de metais preciosos. O desempenho de autolimpeza ultrassônica minimiza o entupimento do bico para suspensões, sóis e soluções salinas.

Equipado com módulo de alimentação de líquido de precisão, unidade de controle de gás independente e plataforma de movimento servo XYZ, o sistema suporta caminhos de revestimento programáveis. Ele pode depositar filmes finos variando de dezenas de nanômetros a micrômetros.

Aplicações típicas incluem camadas de catalisador de célula de combustível e revestimento PEM, células solares de perovskita, filmes de TCO e óxido metálico, revestimentos funcionais de MEMS e wafers, fabricação de nanofilmes de sensores.

Parâmetros: 

Vantagens:

1. Cobertura uniforme com pulverização de vórtice, largura de pulverização efetiva mais ampla em uma única passagem
2. Projeto compatível com alta temperatura. Bico com estrutura de resfriamento para suportar o processo de decomposição térmica do substrato
3. Alta utilização de material acima de 90%, economizando soluções precursoras caras
4. Autolimpeza ultrassônica, baixo risco de entupimento do bico, compatível com suspensões, sóis e precursores salinos
5. Névoa suave com baixo impacto, sem danos a substratos porosos ou filmes finos pré-formados
6. Controle preciso da espessura do filme. Deposição multicamadas para produzir filmes finos de escala nanométrica a micrométrica
7. Gás de conformação de vórtice de baixa pressão, mínimo rebote de gotículas e baixo overspray

Sistema de Revestimento por Pulverização Ultrassônica de Vórtice de Alta Temperatura de 60kHz